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公司简介
公司产品包括原子层沉积(ALD)设备及离子注入(IMP)设备，广泛应用于集成电路、第三代半导体、新能源、光学等诸多领域。
2018年，公司完成了对ALD技术发源地——芬兰倍耐克公司的100%股权收购，逐步建立了完善的ALD产品体系。2023年，思锐智能首台高能离子注入机顺利交付，2024年，完成了离子注入机全系列主流机型的研发，形成了双主业发展的战略布局。
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